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マイクロボロメータの構造

遠赤外線の受光素子として、当社カメラではフランスULIS社製非冷却型のマイクロボロメータを使用しております。 ボロメータは下図のようにアモルファスシリコンで成型された2階建て構造となっており、 上層の薄い板が遠赤外線の吸収層となっています。 ここに遠赤外線が入射すると、温度変化により吸収層の抵抗値が変化します。 この抵抗値の変化を、吸収層を支持する2ヶ所の電極よりバイアス電圧を印加し、 電流の変化として取り出すことにより、放射強度を電流に変換しています。

ボロメータ型の遠赤外線ディテクタでは、吸収層の材料と立体構造が感度を左右する要因となっています。 ULIS社のマイクロボロメータは、吸収層にアモルファスシリコンを使用しているため、 抵抗値の温度再現性が高く、シャッタレス動作を可能としています。

マイクロボローメータ・ピクセルの構造

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