InGaAs近赤外線カメラInGaAs NIR Camera

NIRCam-320EX

f=50mmレンズとの組み合わせ


ディテクタ外観


特徴

  • InGaAs/GaAsSbTypeⅡ超格子素子FPAを搭載した、広帯域近赤外線カメラです。
  • センサ内臓のペルチェ素子と独自水冷機構により、素子を-75℃で冷却しながらコンパクトなカメラヘッドを実現しています。
  • カメラリンク出力で、外部トリガ撮影に対応しており、工業用検査にも最適です。
  • 有効画素数:320×256ピクセル
  • 素子ピッチ:30μm
  • 感度波長域:1.0~2.35μm 
  • 最大フレームレート:350fps

用途

  • 水分検出
  • シリコンウェハー透過検査
  • 異種材料識別(医薬品など)
  • 高温温度計測

カメラ撮像例

シリコンウェハー 水と灯油
シリコンウェハー 水と灯油

カメラ仕様

項目 仕様
センサ TypeⅡ超格子結晶アレイセンサ
エリア有効画素数 320×256ピクセル
ピクセルピッチ 30um/pixel(受光面サイズ:9.6mm×7.68mm)
感度波長帯域 1.0~2.35um
フレームレート/AD分解能 最高350フレーム/秒 16bit
システム構成 カメラヘッド(撮像部)+コントロールユニット(水冷制御・画像出力)
画像出力インターフェース CameraLink Base Configuration × 1 コネクタ:SDR
制御用インターフェース RS-232C(CameraLink経由)
電源(コントロールユニット入力) AC100V 消費電力:55W(室内28℃にて)最大75W
使用温度 -10~+50℃(結露なきこと)
保存温度 -25~60℃(結露なきこと)
温度制御機能 センサ内臓ペルチェクーラーによるTEC搭載(排熱は水冷にて外部冷却)
外部トリガ機能 非同期トリガ撮像可能(カメラリンクCC1経由でトリガ入力)
レンズマウント 標準:Cマウント(M42マウント可)
寸法 W78mm × H60mm × D78mm(レンズ含まず)
コントロールユニット寸法 W300mm × H150mm × D250mm

感度波長域

本体外観図

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