遠赤外線マイクロスコープ(顕微鏡)FIR Microscope

遠赤外線マイクロスコープ

遠赤外線顕微鏡レンズと弊社カメラを組合わせた、高倍率の遠赤外線カメラです。
最高倍率10倍・光学分解能1.7um/ピクセルの熱画像が取得できます。 加冷却熱源との組合せで、半導体部品の非破壊検査などに最適です。
顕微鏡レンズのラインナップも充実しておりますので、ご要望の対物距離(WD)や倍率に合わせて、レンズとカメラの組合せを提案いたします。

10円硬貨表面拡大 解像度チャート画像
解像度チャート画像は、VIM-Gen2シリーズ(画素ピッチ:17um/ピクセル)に3倍のレンズを組合わせて取得した画像です。チャート横の数字は空間1mm内のラインペア数を示しています。たとえば、上記51の場合は、 51×2=102ペアで、黒線の間隔は1mm÷102=9.8umです。計算上の分解能は。、5.67um/ピクセルですが、カメラの感度波長域が8~14umのため、実際の分解能は約10umになっています。

特徴

  • 遠赤外線カメラULVIPSシリーズと、拡大レンズを組合わせた、遠赤外線マイクロスコープカメラ。
  • 選択した拡大レンズでキャリブレーションを実施することにより、顕微鏡サーモグラフィとして微小領域の温度計測に最適。
  • 最高光学分解能4.25μm/pixel(*1)倍率は4種類対応可 *1:ULVIPS-04272S(素子ピッチ17um)とx4 拡大レンズ組合わせ時
  • 最小温度分解能<10mK(*2) *2:ULVIPS-03262S(素子ピッチ25um)とx1.25拡大レンズ組合わせ時
  • 温度計測範囲または温度分解能を任意に設定可能
  • カメラはULVIPS-03162/262S(QVGA:384x288/高感度タイプ)とULVIPS-04272S(VGA:640x480)の3機種対応可
  • フレームレートは最大50fps・パーシャルスキャンにより最高2400fps高速取込が可能(*3) *3:ULVIPS-04272Sを640ピクセル×10ラインで動作させたときのフレームレート
  • 用途に合わせて4種類のモデルをご用意

撮像例:アルミスケール

X1.25 X2.35 X3.1 X4.0

撮像例:10円玉

X1.25 X2.35 X3.1 X4.0

温度分解能

基準熱源で差温度画像を計測(ULVIPS=04272S+x1.25レンズ)

温度差:47-39=8℃ 輝度差(平均):2550-1650=900
温度分解能=8÷900=9mK ・・・10mK以下

レンズ仕様

 
レンズ型式 仕様 外観
WOE-0R5 倍率:1×
WD:-mm
分解能:17um/pix
WOE-OR5レンズ
WOE-3R0 倍率:3×
WD:11mm
分解能:5.67um/pix ※1
WOE-3ROレンズ
WOE-5R0 倍率:5×
WD:11mm
分解能:3.4um/pix
WOE-5R0レンズ

システム基本構成

システム基本構成

熱負荷システムとのバンドルモデル

加熱/冷却ステージ 急速加熱ステージ
ステージサイズ:80x60mm ステージサイズ:5x5mm
温調設定範囲:-40~+80℃(環境温度による) 温調設定範囲:室温~+600℃
最大温度勾配:約0.3℃/秒(昇温時) 到達時間:+400℃まで30秒
(他の特性のヒーターもあります。)
→静的温度状態での検証に最適 →動的温度状態での検証に最適

オプション

カメラの微調機構がついたスタンドや、微小領域の温度基準をとるための簡易黒体熱源もご用意しております。

オプション1 オプション2

  上下微動付スタンド        簡易黒体熱源   


資料のダウンロード

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