遠赤外線マイクロスコープFIR Microscope

特徴

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  • 遠赤外線カメラULVIPSシリーズと、拡大レンズを組合わせた、遠赤外線マイクロスコープカメラ。
  • 選択した拡大レンズでキャリブレーションを実施することにより、顕微鏡サーモグラフィとして微小領域の温度計測に最適。
  • 最高光学分解能4.25μm/pixel(*1)倍率は4種類対応可 *1:ULVIPS-04272S(素子ピッチ17um)とx4 拡大レンズ組合わせ時
  • 最小温度分解能<10mK(*2) *2:ULVIPS-03262S(素子ピッチ25um)とx1.25拡大レンズ組合わせ時
  • 温度計測範囲または温度分解能を任意に設定可能
  • カメラはULVIPS-03162/262S(QVGA:384x288/高感度タイプ)とULVIPS-04272S(VGA:640x480)の3機種対応可
  • フレームレートは最大50fps・パーシャルスキャンにより最高2400fps高速取込が可能(*3) *3:ULVIPS-04272Sを640ピクセル×10ラインで動作させたときのフレームレート
  • 用途に合わせて4種類のモデルをご用意

システム基本構成

システム基本構成

顕微鏡用レンズ

最適なレンズを使用する事で、多様な光学分解能の設定が可能!

型番 光学倍率 対物距離 対応カメラ 光学分解能
(計算値)
有効F値 レンズ外観
K-1206 x0.5 50mm ULVIPS-04272S
ULVIPS-04322S
ULVIPS-PICO384
VIM-384G2
VIM-640G2
34um/pix
K-1137 x1.0 35mm ULVIPS-04272S
ULVIPS-04322S
ULVIPS-PICO384
VIM-384G2
VIM-640G2
17um/pix
WOE-0R5 x1.0 ULVIPS-PICO384
VIM-384G2
17um/pix F/1.0
WOE-2R2 x2.2 ULVIPS-PICO384
VIM-384G2
7.7um/pix F1.85
K-1138 x3.0 19.1mm ULVIPS-04272S
ULVIPS-04322S
ULVIPS-PICO384
VIM-384G2
VIM-640G2
5.7um/pix
WOE-3R0 x3.0 ULVIPS-PICO384
VIM-384G2
5.7um/pix F1.85
K-1139 x5.0 15.6mm ULVIPS-04272S
ULVIPS-04322S
ULVIPS-PICO384
VIM-384G2
VIM-640G2
3.4um/pix
K-1207 x10 6.2mm ULVIPS-04272S
ULVIPS-04322S
ULVIPS-PICO384
VIM-384G2
VIM-640G2
1.7um/pix

撮像例:アルミスケール

X1.25 X2.35 X3.1 X4.0

撮像例:10円玉

X1.25 X2.35 X3.1 X4.0

温度分解能

基準熱源で差温度画像を計測(ULVIPS=04272S+x1.25レンズ)

温度差:47-39=8℃ 輝度差(平均):2550-1650=900
温度分解能=8÷900=9mK ・・・10mK以下

高速フレームレート:パーシャルスキャン

半導体部品クラック検査・・・加熱中に特徴が現れる

[≫半導体部品クラック検査:動画]

熱負荷システムとのバンドルモデル

加熱/冷却ステージ 急速加熱ステージ
ステージサイズ:80x60mm ステージサイズ:5x5mm
温調設定範囲:-40~+80℃(環境温度による) 温調設定範囲:室温~+600℃
最大温度勾配:約0.3℃/秒(昇温時) 到達時間:+400℃まで30秒
(他の特性のヒーターもあります。)
→静的温度状態での検証に最適 →動的温度状態での検証に最適

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